Ellipsomètre spectroscopique à angle variable RC2 de J. A. Woollam Co., Inc.

L'ellipsométrie est une technique de caractérisation optique non-intrusive permettant, entre autres, de déterminer l'épaisseur et les propriétés optiques [(n,k) ou (ε12)] de couches minces. Le principe de cette technique repose sur l'observation du changement de l'état de polarisation d'un faisceau lumineux après réflexion sur la surface de l'échantillon. L'équation fondamentale de l'ellipsométrie est:

 

rp et rs sont les coefficients de Fresnel complexes correspondant au système couche(s)-substrat, et Ψ et Δ sont les paramètres mesurés par l’ellipsomètre, reliés respectivement à l’amplitude et à la phase de rp et rs. Après construction d’un modèle optique approprié (substrat, nombre de couches, épaisseur et constantes optiques pour chaque couche), les valeurs de Ψ et Δ fournies par le modèle sont comparées aux valeurs expérimentales et, par un processus itératif d’optimisation, les caractéristiques des couches sont determinées. La mesure de la phase (Δ) est particulièrement sensible à l’épaisseur des couches et permet de détecter des variations de l’ordre de l’angström. L’indice de réfraction peut être obtenu de manière absolue avec une précision de l’ordre de 10-3 et de manière relative avec une précision ≤10-4.

L'ellipsomètre RC2 est équipé de deux compensateurs rotatifs qui assurent une excellent précision de mesure (de l’ordre du centième de degré sur Ψ et Δ). Cette configuration permet également d’analyser les échantillons qui sont à la fois dépolarisant et anisotropes.  et différents modules peuvent être installés sur l’appareil : module de cartographie XY, cellule chauffante, cellule électrochimique, etc.

Pour en apprendre plus sur l'ellipsométrie: http://www.jawoollam.com/tutorial_1.html

Caractéristiques du RC2

Gamme de longueurs d'onde: 200 à 1700 nm
Résolution:
Configuration: deux compensateurs  rotatifs

 vase ellipsometer 78670

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