Ellipsomètre spectroscopique IR à angle variable

L’ellipsométrie IR-VASE (Infrared Variable Spectroscopic Ellipsometry) est une puissante technique de caractérisation non-destructive combinant les avantages de l’ellipsométrie et de la spectroscopie infrarouge à transformée de Fourier (FTIRS). Ainsi, les épaisseurs et les constantes optiques (nk) de revêtements multicouches peuvent être déterminées, de même que les liens chimiques caractéristiques des matériaux analysés.

La détermination de n et k permet de s’affranchir des artefacts optiques présents sur les spectres en réflection (interférences et pics liées à la nature du substrat, à l’épaisseur de la couche ou à l’angle d’incidence) et ainsi d’obtenir les propriétés intrinsèques des matériaux. La sensibilité chimique du IR-VASE est supérieure à celle du FTIRS, offrant la possibilité de détecter des couches ultraminces (jusqu’à 5 nm) sur de nombreux types de substrats. Enfin, d’autres caractéristiques des couches telles que l’anisotropie, la non-uniformité, la nature des phonons (TO, LO) et la concentration en dopants peuvent être déterminées.

Pour en apprendre plus sur l'ellipsométrie: http://www.jawoollam.com/tutorial_1.html

 

Caractéristiques

Gamme de longueurs d'onde:  333 cm-1 - 5000 cm-1 (2 micron - 30 micron)
R
ésolution: 1 cm-1 - 128 cm-1
Configuration: 
compensateur rotatif

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