Réacteurs de pulvérisation réactive

Nous possédons également plusieurs réacteurs de pulvérisation réactive avec différentes configurations dont voici les caractéristiques les plus pertinentes:

  • Magnétrons en champ magnétique fermé: diamètre de 50, 75 et 100 mm
  • Mode d'excitation: DC, DC pulsé (5 – 350 kHz), RF (13.56 MHz)
  • Système en configuration magnétron double et quadruple
  • Pulvérisation réactive ainsi que non-réactive
  • Matériaux typiquement déposés: Al, Al2O3, Ag, Au, CrAlNCrN, CrSiN, Cu, ITO, Nb2O5, SiO2, Ta2O5, Ti, TiO2, TiN, , TiSiCN, TiSiN, VO2, WO3, ZnO, etc.
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