Ion Assistant

IonAssist 8ef0c

IonAssistant est un outil permettant de:

  • Modéliser la distribution de densité de courant d'ions
    • sur des porte-substrats stationnaires ou en rotation
    • en tenant compte de l'effet d'un masque
    •  
  • Optimiser la distribution pour
    • maximiser le courant total
    • maximiser l'uniformité
    • trouver un compromis entre les deux en leur donnant des facteurs d'importance

 IonAssistant est un programme dont le code source est redistribuable. Ce dernier a été codé en langage MATLAB. Afin de vous en servir, vous aurez besoin de

  •  Télécharger le code source  IonAssistant_mat.zipVous aurez besoin de la version de MATLAB 2011 (ou plus récente) pour l'utiliser, ainsi que des toolbox suivants:
    • optimization toolbox
    • image toolbox
  • ou de télécharger la version compilée en .exe pour ordinateurs 32-bit (Windows): ionAssistant.exe version4 
    • Vous aurez besoin de la bonne version de MATLAB MCR pour l'exécuter. Si vous n'avez pas la bonne version, un pop-up vous indiquant laquelle installer apparaîtra lorsque vous essaierez d'exécuter le programme. 
    • http://www.mathworks.com/products/compiler/mcr/

 

Programmé par Martin Caron.

Idée originale et supervision par Oleg Zabeida.

Le détail du calcul de ces distributions peut être trouvé dans notre article:

V.Marushka, O. Zabeida,L. Martinu, "Distribution of ion current density on a rotating spherical cap substrate", J.Vac.Sci.Technol. A 32(6) (2014) 061513.

 

 

 

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